Trifluorek azotu (NF3) Gaz o wysokiej czystości
Podstawowe informacje
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Co to za materiał?
Trifluorek azotu (NF3) to bezbarwny i bezwonny gaz w temperaturze pokojowej i pod ciśnieniem atmosferycznym. Można go upłynniać pod umiarkowanym ciśnieniem. NF3 jest trwały w normalnych warunkach i nie ulega łatwo rozkładowi. Może jednak ulec rozkładowi pod wpływem wysokich temperatur lub w obecności niektórych katalizatorów. NF3 ma wysoki potencjał tworzenia efektu cieplarnianego (GWP) po uwolnieniu do atmosfery.
Gdzie wykorzystać ten materiał?
Środek czyszczący w przemyśle elektronicznym: NF3 jest szeroko stosowany jako środek czyszczący do usuwania pozostałości zanieczyszczeń, takich jak tlenki, z powierzchni półprzewodników, paneli wyświetlaczy plazmowych (PDP) i innych elementów elektronicznych. Może skutecznie oczyścić te powierzchnie, nie uszkadzając ich.
Gaz trawiący w produkcji półprzewodników: NF3 stosuje się jako gaz trawiący w procesie produkcji półprzewodników. Jest szczególnie skuteczny w trawieniu dwutlenku krzemu (SiO2) i azotku krzemu (Si3N4), które są powszechnie stosowanymi materiałami do produkcji układów scalonych.
Produkcja związków fluoru o wysokiej czystości: NF3 jest cennym źródłem fluoru do produkcji różnych związków zawierających fluor. Jest stosowany jako prekursor w produkcji fluoropolimerów, fluorowęglowodorów i specjalistycznych chemikaliów.
Wytwarzanie plazmy w produkcji wyświetlaczy płaskich: NF3 jest używany wraz z innymi gazami do tworzenia plazmy w produkcji wyświetlaczy płaskich, takich jak wyświetlacze ciekłokrystaliczne (LCD) i PDP. Plazma jest niezbędna w procesach osadzania i trawienia podczas wytwarzania paneli.
Należy pamiętać, że konkretne zastosowania i przepisy dotyczące użycia tego materiału/produktu mogą się różnić w zależności od kraju, branży i celu. Zawsze postępuj zgodnie ze wskazówkami bezpieczeństwa i skonsultuj się ze specjalistą przed użyciem tego materiału/produktu w jakimkolwiek zastosowaniu.
